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潔凈廠(chǎng)房排氣系統基本要求
發(fā)布者：翼展凈化工程公司瀏覽次數：發(fā)布時(shí)間：2024-02-28
由于電子工業(yè)潔凈廠(chǎng)房各類(lèi)工藝排氣中的組分十分復雜，有的工序或設備的工藝排氣中有害物質(zhì)的濃度還可能較高，因此在國家標準《電子工業(yè)潔凈廠(chǎng)房設計規范》(GB 50472） 中對排風(fēng)系統設計作了如下規定：

1.排風(fēng)介質(zhì)中含有劇毒物質(zhì)時(shí)，其排風(fēng)機和處理設備應設備用，并應設置應急電源。排風(fēng)介質(zhì)中含易燃、易爆等危險物質(zhì)或工藝可靠性要求較高時(shí)，其排風(fēng)機應設備用，并應設置應急電源。

2.排除有爆炸危險的氣體和粉塵的局部排風(fēng)系統，其風(fēng)量應按在正常運行和事故情況下，風(fēng)管內這些物質(zhì)的濃度不大于爆炸下限的 20%計。

3.排除有爆炸危險的氣體和粉塵潔凈廠(chǎng)房的排氣設施的局部排風(fēng)系統，應設置消除靜電的接地裝置。氣管路、應保持相對于路由區城一定的負壓值，對排風(fēng)系統中含有毒性、爆炸危險性物質(zhì)的排放。

上述規定是依據近年來(lái)電子工業(yè)潔凈廠(chǎng)房工程的設計實(shí)踐和已經(jīng)投人運行的相關(guān)工程項目的安全可靠運營(yíng)的經(jīng)驗總結，并且參照了國外相關(guān)標準的技術(shù)要求。在美國消防協(xié)會(huì ) (NFPA) 2018年版的 《半導體制造的消防標準》(NFPA 318） 中要求：“排風(fēng)系統應設有自動(dòng)應急電源；應急電源工作時(shí)，應達到不低于排氣系統 50%的容量；使用可燃、易燃氣體或化學(xué)品的設備，應設有可燃、易燃氣體或蒸汽濃度低至爆炸下限 20%以下的排氣系統。

據了解，國內已經(jīng)建成投運或正在建設的微電子生產(chǎn)用潔凈廠(chǎng)房?jì)扔斜ㄎｋU的可燃、易燃氣體或蒸汽和粉塵的排風(fēng)系統，為確保潔凈廠(chǎng)房的安全可靠性、排風(fēng)系統的排風(fēng)量均應達到在正常運行或事故情況下，排風(fēng)管內這些有害物質(zhì)的濃度不得大于該物質(zhì)爆炸下限的20%計。為此在排風(fēng)系統設有吸人房間空氣的自動(dòng)裝置，并在排風(fēng)管內設有氣體濃度報警裝置，當排風(fēng)系統中的有害物質(zhì)派度超過(guò)規定值時(shí)，在進(jìn)行報警的同時(shí)，自動(dòng)開(kāi)啟吸人空氣降低排風(fēng)中有害物質(zhì)的裝置，使排風(fēng)系統總是不會(huì )因意外火源引發(fā)著(zhù)火事故潔凈室（區）及其上、下技術(shù)夾層均具有氣密性良好的要求，如果在潔凈廠(chǎng)房中含有有毒可燃、 易燃物質(zhì)的排氣系統一旦發(fā)生泄漏事故將會(huì )帶來(lái)十分嚴重的安全隱患，一旦超出規定限值可能使作業(yè)人員中毒甚至發(fā)生著(zhù)火事故，所以相關(guān)規范中規定含有毒和易燃、易爆等危險物質(zhì)的排風(fēng)系統的排風(fēng)機、處理設備均應設置備用電源、備用風(fēng)機，以防止排氣系統不正常停機事故的發(fā)生；并且這類(lèi)排風(fēng)系統內應保持相對于風(fēng)管路由區城一定的負壓值，以避免發(fā)生泄漏事故。不僅如此，在相關(guān)規范中還規定在使用有毒、可燃、易燃、有爆炸危險物質(zhì)的生產(chǎn)工藝設備的‘氣體分配箱”、排風(fēng)管道連接處和相應的潔凈室（區）的室內環(huán)境設有氣體泄漏報警裝置，為避免因危險物質(zhì)的泄漏超過(guò)規定限值引發(fā)安全事故的發(fā)生，并應設置氣體報警裝置與排風(fēng)風(fēng)機的自動(dòng)連鎖控制。

潔凈廠(chǎng)房排氣 （廢氣）系統的設計建造安全技術(shù)措施主要有如下基本要求。

①排氣系統應具有連續不斷運行的功能，這是確保潔凈廠(chǎng)房安全穩定運行的重要條件之一，也是保持潔凈室的潔凈度等級和產(chǎn)品生產(chǎn)過(guò)程不被玷污的必需的技術(shù)措施。如果潔凈廠(chǎng)房?jì)饶撑艢庀到y因安全技術(shù)措施出現故障導致其中斷運行，將會(huì )使該排氣系統涉及的潔凈室（區）及其范圍內生產(chǎn)工藝設備產(chǎn)品生產(chǎn)發(fā)生的有害物質(zhì)散發(fā)到相關(guān)房間內，其嚴重后果是不言而喻的。此，“連續運行”是潔凈廠(chǎng)房排氣系統首要的安全技術(shù)措施基本要求。

② 潔凈廠(chǎng)房中各類(lèi)排氣應嚴格遵守 “不準混排”或應按廢氣種類(lèi)和不相容原則分類(lèi)、分系統設置。這里所指的 “不相容”，Cincompatible）是化學(xué)物質(zhì)經(jīng)由非故意的結合，可能產(chǎn)生劇烈的反應或無(wú)法控制的狀況，其釋放的能量可能引起危險。在電子工業(yè)集成電路、液晶顯示器面板等產(chǎn)品生產(chǎn)中，由于其生產(chǎn)過(guò)程需用數十種不同物化性質(zhì)的化學(xué)品、特種氣體，因此在這類(lèi)潔凈廠(chǎng)房?jì)鹊呐艢庀到y必須十分嚴格執行“不準混排”“按不相容原則分類(lèi)、分系統”，以確保潔凈廠(chǎng)房的安全穩定運行。例如在 GB 51401 中明確規定：氮氧化物度氣、高濃度酸皮氣應單獨設置皮氣系統，外延尾氣處理系統應單獨設置等

③各類(lèi)排氣系統設計建造和運行應具有可靠的防止泄漏/滲漏的技術(shù)措施。簽于各類(lèi)排氣系統中排出的介質(zhì)分別或同時(shí)具有易燃易爆、毒性、腐蝕性、氧化性和室息性等，一旦從排風(fēng)系統泄漏到所涉及的環(huán)境，將可能引發(fā)火災、爆炸、中街等危區生命財產(chǎn)的重大災難性事故，因此防泄漏/滲漏是排氣系統安全技術(shù)措施的重要基本要求。

④依據排氣系統排出廢氣的有害物質(zhì)，例如有火災、爆炸、有毒等危及生命財產(chǎn)安全的物質(zhì)，在生產(chǎn)工藝設備排出口或在現場(chǎng)排氣處理裝置(POU） 等排出口，進(jìn)入排風(fēng)管道處的有告濃度應有嚴格限制，以確保排風(fēng)管道至排人大氣的排氣間的路由管道、設備區其周?chē)h(huán)境的安全。在標淮規范中明確規定的有．燒類(lèi)尾氣處理系統處理后的燃燒爆炸性氣體濃度應保持在萁燃燒范圃卞限值的 25%以下，為防止運行過(guò)程中排氣管道內“超過(guò)限值”，通常應設有稀釋措施；當采用轉輪濃縮處理?yè)]發(fā)性有機物廢氣時(shí)，濃縮后的揮發(fā)性有機物廢氣濃度不應大于燃燒范圍下限的 50%等

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