潔凈廠(chǎng)房排氣系統安全技術(shù)措施
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在電子工業(yè)潔凈廠(chǎng)房中各種類(lèi)型的排氣系統都會(huì )涉及安全技術(shù)措施。其中集成電路、液晶顯示器面板制造的潔凈廠(chǎng)房不僅排氣系統和類(lèi)生，且排氣量大，有的工藝設備排氣口的廢氣排出濃度還較高等，為了確保電子工業(yè)廢氣處理系統的安全可靠運行，在國家標準《電子工業(yè)廢氣處理工程設計標準》（GB 51401—2019） 中作出有關(guān)廢氣處理系統的安全技術(shù)措施規定，匯總一部分供涉及相關(guān)工程的設計、建造者實(shí)施執行：
排風(fēng)中含有燃燒爆炸性、毒性物質(zhì)時(shí)，排風(fēng)系統設計應滿(mǎn)足下列要求：
a.燃燒爆炸性、毒性物質(zhì)未經(jīng)處理的排風(fēng)管路，應保持相對于路由區域的負壓值
b.中央廢氣處理系統應按一級負荷供電，一級負荷供電的電量應保證系統排風(fēng)量不小于正常運行時(shí)系統排風(fēng)量的 50%；
c.排風(fēng)中含有燃燒爆炸性物質(zhì)時(shí)，排風(fēng)機應設置備用；
d排風(fēng)中含有極毒或劇毒物質(zhì)時(shí)，排風(fēng)機和處理設備均應設置備用。
依據生產(chǎn)工藝要求，產(chǎn)品生產(chǎn)過(guò)程必須使用極毒、劇毒物質(zhì)時(shí)，應采用自動(dòng)化設備并應采取密閉、隔離和負壓作業(yè)等措施；生產(chǎn)工藝設備中產(chǎn)生有毒有害物質(zhì)的腔體應采取排風(fēng)措施，并應滿(mǎn)足生產(chǎn)工藝要求的負壓值。揮發(fā)性有機物皮氣排風(fēng)系統應配置備用風(fēng)機，且排風(fēng)機應按一級負荷供電，使用一級負荷供電的風(fēng)機風(fēng)量應大于系統排風(fēng)量的 50%。經(jīng)處理后的工藝設備排出的揮發(fā)性有機物皮氣不應循環(huán)使用。當采用轉輪濃縮處理?yè)]發(fā)性有機物廢氣時(shí)，派縮后的揮發(fā)性有機物廢氣濃度不應大于燃燒下限的 50%
在美國消防標準 NFPA 318 中對半導體產(chǎn)品制造潔凈廠(chǎng)房排氣管路的消防安全措施作了相關(guān)規定，如設在潔凈廠(chǎng)房?jì)鹊挠糜谂欧藕锌扇?、易燃物質(zhì)的排風(fēng)管道的直徑或等效直徑大于或等于250mm 時(shí)，排風(fēng)管內應設噴頭，其自動(dòng)噴水滅火系統的設計噴水強度不得小于 1.9L/(min • ㎡),風(fēng)管內自動(dòng)噴水滅火系統的設計流量應滿(mǎn)足最遠端5個(gè)噴頭的出水量，單個(gè)噴頭的出水量不應小于76L/min；水平風(fēng)管內噴頭的距離不得大于 6.1m，垂直風(fēng)管內噴頭的間距不應大于 3.7m；設有噴頭的風(fēng)管設置的噴頭應便于定期維護檢修。對于可燃、易燃、有毒的工藝排氣系統不得設置防火閥等。對于有毒有害物質(zhì)的排氣系統，經(jīng)廢氣處理后的污染因子濃度應在 PC-TWA值以下排除或輸送有燃燒或爆炸危險物質(zhì)的排氣系統的風(fēng)管，不應穿過(guò)防火墻和防火隔墻。其余酸性、堿性、揮發(fā)性有機物和特種廢氣系統的風(fēng)管不宜穿越防火墻或防火隔墻，當必須穿越時(shí)，排風(fēng)系統的防火閥設置應遵守下列規定：不應設置熔片式防火網(wǎng)；含有極毒和劇毒物質(zhì)的排風(fēng)系統不應設置防火閥，但緊鄰建筑構件其中一側的排風(fēng)管應采用與建筑構件耐火極限相同的構造進(jìn)行保護
② 堿性廢氣系統處理設備宜設置備用，排風(fēng)機應設置備用。電子工業(yè)潔凈廠(chǎng)房的堿性廢氣系統處理設備和排風(fēng)機應按一級負荷供電，使用一級負荷供電的堿性系統處理設備和排風(fēng)機風(fēng)量應大于系統排風(fēng)量的 50%。
設計排風(fēng)管路系統時(shí)，應避免風(fēng)管內的揮發(fā)性有機物蒸氣積聚。設置自動(dòng)噴淋系統的排風(fēng)管，應避免噴淋排水回流到工藝設備，風(fēng)管支撐系統應能承載噴淋時(shí)風(fēng)管系統的重量。揮發(fā)性有機物廢氣排風(fēng)管的設計不宜選用易出現氣體泄漏的管道密封形式或管件。
③揮發(fā)性有機物廢氣處理系統應配置備用風(fēng)機，且排風(fēng)機應按一級負荷供電，使用一級負荷供電的風(fēng)機風(fēng)量應大于系統排風(fēng)量的 50%。
VOC 廢氣處理系統應配置風(fēng)量或風(fēng)壓低于設定值的報警裝置；爐膛超溫時(shí)高溫煙氣從爐膛直排煙道的應急排放管；處理系統的監測、日常操作及保養所需的輔助設施及控制系統失效情況下的緊急安全處理措施等安全保護裝置內及靠近外門(mén)的外墻上設置電氣裝置。
④事故排風(fēng)系統風(fēng)機的供電負荷等級不應低于相關(guān)工藝設備的供電負荷等級，并應分別在室設置有事故排風(fēng)的場(chǎng)所不具備自然進(jìn)風(fēng)條件時(shí)，應設置補風(fēng)系統，補風(fēng)量宜為排風(fēng)量的 80％，補風(fēng)機應與事故排風(fēng)機聯(lián)鎖。
含有劇毒和較毒物質(zhì)的事故排風(fēng)系統其排氣筒高度不應低于 15m，含有極毒物質(zhì)的事故排風(fēng)系統其排氣筒高度不應低于 25m。排氣筒出口處的有毒有害物質(zhì)濃度應低于立即危害生命和健康濃度的 50%。需要設置事故通風(fēng)的場(chǎng)所，宜設置有毒、有害或燃燒爆炸性氣體檢測及報警裝置，報警后聯(lián)動(dòng)開(kāi)啟事故通風(fēng)裝置
